резка пластин

Методы резки кремниевых приборных пластин на чипы
в производстве органических микродисплеев
Аннотация. Требования к высокой точности и улучшению качества обработки
поверхности и спрос на производство микродисплеев на органических светоизлучающихрезка пластин
диодах (ОСИД) с низким уровнем потребительской стоимости подразумевает необходимость
рассмотрения эффективных методов резки кремниевых приборных пластин. В данной работе
рассмотрены высокоэффективные технологические процессы прецизионной сквозной резки
кремниевых приборных пластин в производстве микродисплеев на органических
светоизлучающих диодах. Эти техпроцессы являются контролируемыми и имеют менее
агрессивные режимы в отличие от других механических и лазерных методов, таких как
механическое скрайбирование, лазерное скрайбирование и лазерная резка. В работе
используются установка дисковой резки ADT-7100 ProVectus (Израиль) и лазерная установка
РТ-350 (Россия), которая базируется на применении метода лазерного управляемого
термораскалывания. Рассматриваются различные типы дисковых лезвий и режимы данных
установок для разрезания полупроводниковых приборных пластин на кристаллы. Приводятся
и сравниваются данные по оценке качества поверхностей чипов после лазерного
управляемого термораскалывания и дисковой резки, а именно наличие и размер сколов, а
также шероховатость поверхностей. В работе автором впервые обосновывается и
экспериментально доказывается возможность и эффективность применения сквозной
дисковой резки и метода лазерного управляемого термораскалывания в ОСИД технологии
После открытия электролюминесценции в органических материалах в начале 1950-х гг.
и развития разработок проводящих органических полимеров с 2000 г. началось создание
органических светоизлучающих диодов (Organic Light Emission Diode – OLED или ОСИД).
Для их создания используются тонкопленочные многослойные структуры, состоящие из слоев
нескольких органических полимеров, имеющих разные назначения, такие как – эмиссия,
инжекция и транспортировка дырок и электронов, изоляция, разделение [1]. Наряду с этим
возникла и интенсивно развивается новая область электронной техники, связанная с
миниатюрными устройствами отображения информации – микродисплеями. Технология
создания средств отображения информации на основе ОСИД является новейшей технологией,
технологией, идущей на смену существующим сегодня. В настоящее время органические
светодиоды изготавливаются на основе двух типов материалов: низкомолекулярные
органические материалы и полимерные материалы. Наиболее отработанной является
технология изготовления органических светодиодов и изделий на их основе с использованием
низкомолекулярных органических материалов [2]. Технология ОСИД даёт преимущество в
получении чёткого и контрастного изображения 1000:1 и более, ОСИД микродисплеи имеют
меньшую потребляемую мощность, угол обзора до 170°, лучшее качество цветопередачи, а
также лучшие масса-габаритные показатели: размер области отображения 12,78 мм х 9 мм;
габаритные размеры 19,78 мм х 15,2 мм х 5 мм